Bird’s beak 현상에 대해서 설명하고 제어방법을 제안하세요.

[Bird’s beak 현상]

반도체의 성분인 실리콘이 산소와 반응하면 새의 부리 모양처럼 위로 불룩하게 되어 산화막이 만들어지면서 부피가 커지기 때문에 작은 cell을 만들기 어려워지는 현상이다.

[문제점]
실리콘 단부의 실리콘-산화막, 산화막-질화막과의 경계면에서 열산화 시의 축방향의 부피 팽창변화로 인한 새 부리 현상이 생겨서 이것이 능동 영역을 잠식하게 되어 회로의 신뢰성 문제를 야기하며, 집적도를 저하시킨다. 따라서 칩 크기를 작게 하고 고집적화가 이루어짐에 따라 새부리 현상으로 인해 차지하는 필요 없는 면적을 얼마만큼 감소시키느냐가 중요 과제로 대두된다.

[제어가 필요한 이유]
소자 분리 기술은 반도체 공정에서 가장 중요한 기술 중의 하나이며, 특히 대용량 MOS 기억소자에서 셀들의 크기를 결정하는 열쇠는 소자분리 기술에 의존한다 해도 과언이 아니다. 즉 소자 분리의 거리가 1000Å 만 개선되어도 칩의 크기는 1M bit 급에서 0.2~0.4mm를 줄인 결과가 되므로 Bird's Beak 영역을 최소화하는 것은 굉장히 중요한 일이다.