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1. 본인에 대하여 자유롭게 소개하여 주시길 바랍니다. [전공 및 학부 연구생을 통한 직무 설정] 전기 엔지니어가 되기 위해 방향성 있게 노력해 왔고, 이를 통해 직업관에 확신이 생겼습니다. ‘전력기기 실험’에서 MG 세트, 변압기, 인버터 등의 장치를 접했습니다. FET, AMP 등의 소자들에 비해 더 큰 전압과 전류를 다루며, 더 역동적으로 동작한다는 점이 흥미로웠습니다. 다음 학기에 수강한 ‘전기기계1’에서는 다양한 전동기, 발전기와 이에 대한 원리를 배웠습니다. 흥미를 가지고 원리를 이해하니, 자연스럽게 모두 좋은 성적을 받았을 수 있었습니다. 적극적으로 학부 연구생도 참여했습니다. CVD 장비를 직접 분석하여, 기계장치의 이해도를 높였습니다. 학부 연구생 동안, CVD 장비를 이용해 박막 합성 공정 최적화에 관해 연구했습니다. 그러나 장비에 문제가 발생하여 연구를 진행하지 못한 적이 있습니다. 저희 팀은 진공 펌프, Chamber 등의 HW를 직접 분해/조립/테스트했고, 공정 설비 엔지니어와 직접 소통했습니다. 이 경험을 통해 CVD 장비를 더욱 완벽히 다루고 이해했으며, 설비 관련 직무로 방향성을 정했습니다. 한편, 학부 연구생을 통해 어학 능력을 더 키웠습니다. 9개월의 기간 동안, 같은 팀 Post Doctor와 영어로 소통하며 함께 연구했습니다. 설비 및 공정 변수의 변경, 앞으로의 계획 등, 각자의 지식과 경험을 근거로 공정 최적화를 위해 끊임없이 토론했습니다. 비록 처음에는 어려웠지만, 계속해서 이야기하다 보니 어학 능력을 더 키울 수 있었고, 영어로 대화하는 것에 흥미를 갖게 됐습니다. ASML에서 근무하게 된다면, 직무에 대한 꾸준한 방향성을 가지고 회사와 함께 성장하는 ASML의 인재가 되겠습니다. [CVD 장비의 불량 개선 및 Loss 제거를 통한 공정 최적화] 학부 연구생 동안, Chamber 내 온도, 압력 등의 공정 변수를 조절하여 최적화 Parameter를 찾기 위해 노력했습니다. 그러나, 갑작스럽게 장비 내 Chamber의 진공 성능이 악화됐습니다. 저희 팀은 4가지 측면에서 원인을 파악하여 불량을 해결했고, 연구 성과를 달성했습니다. 첫 번째는 진공 펌프의 성능 저하입니다. 내부 압력은 대개 펌프의 성능에 영향을 받을 거라 판단하여, 펌프 내 오일과 필터를 교체했습니다. 하지만 내부 압력은 0.1 Torr로, 문제는 해결되지 않았습니다. 두 번째는 압력 센서의 문제입니다. 펌프에 이상이 없음을 알았기에, 계측기의 문제일 가능성이 컸습니다. 장비 설명서를 통해 센서가 수평으로 있어야 한다는 것을 알게 됐고, 센서를 수평으로 재배치했습니다. 압력은 0.08 Torr로 센서는 이전보다 정확해졌지만, 아직 불량이 개선되지는 않았습니다. 세 번째는 배관의 노후화입니다. Ar 가스 배관은 사람과의 접촉이 빈번하기 때문에, 노후화된 배관을 통해 공기가 샐 가능성이 있습니다. 펌프를 동작시킨 상태에서 IPA 용액을 배관에 떨어뜨려, 내부의 진공 상태가 일시적으로 좋아지는 것을 확인했습니다. 이후 새 배관으로 교체하여 이전의 압력인 0.003 Torr를 되찾았습니다. 마지막은 장비 내 불순물입니다. 화학 반응을 위해 유입되는 Ar 가스가 밖으로 나가면서, 출구 쪽에 쌓인 전구체가 펌프의 성능을 감소시킬 수 있습니다. 따라서 톨루엔, 아세톤 등으로 내부 불순물을 제거했고, 압력을 0.001 Torr까지 개선했습니다. 이후 최적화된 설비를 통해, 공정 변수와 박막 퀄리티 사이의 관계성에 관한 논문을 교내 잡지에 게재했습니다. 저희가 찾은 관계성으로 최적의 박막을 양산할 수 있다는 점에서 큰 의미가 있습니다. 이 경험을 통해 ‘설비에 대한 정확한 이해가 뛰어난 공정을 만든다’는 것을 깨달았습니다. 더 정확한 설비로 최고의 반도체를 양산하게 하는 ASML 최고의 CS엔지니어가 되겠습니다.