진공증착법을 하는 이유는 무엇입니까?
증착은 기체 상태로 증발된 원자나 분자 혹은 입자가 낮은 온도의 다른 물체(공정상 기판을 의미)를 만나 표면에 다시 고체 상태로 응축되는 현상을 말한다. 이 현상을 진공상태에서 일으키면 진공증착이 된다.
진공증착법의 장점과 단점은 아래와 같다.
[장점]
- 장치 전체의 구성이 비교적 간단하다.
- 다양한 물질에 쉽게 적용할 수 있다.
- 박막이 될 수 있는 메커니즘이 비교적 단순하기 때문에 박막형성에 있어서 핵생성이나 성장이론과의 대응이 쉽다.
- 박막을 만들 때, 열적, 전기적 번잡함이 작기 때문에 박막의 물성연구에 적합하다.
- 열역학적으로 평형조건에서 되는 물질과 다른 결정구조를 지닌 물질이나 다른 성분비를 지닌 화합물을 만들 수가 있다.
[단점]
- 코팅의 균일성과 밀착성이 다른 방법에 비해 좋지 않다.
- 증발원을 향한 표면에서만 증착이 이루어지므로 후속적인 조치가 필요하다.
- 순금속 및 화합물의 증착이 가능하지만 합금의 증착시에는 성분조절이 어렵다.
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